平面度誤差是將被測(cè)實(shí)際表面與理想平面進(jìn)行比較，兩者之間的線值距離即為平面度誤差值；或通過測(cè)量實(shí)際表面上若干點(diǎn)的相對(duì)高度差，再換算以線值表示的平面度誤差值。

　　在傳統(tǒng)的檢測(cè)方法中，平面度的測(cè)量通常有：塞規(guī)/塞尺測(cè)量法、液平面法、激光平面干涉儀測(cè)量法（平晶干涉法）、水平儀/數(shù)字水平儀測(cè)量法、以及打表測(cè)量法。

　　塞尺測(cè)量法

　　塞尺主要用于間隙間距的測(cè)量，對(duì)平面度的測(cè)量只能進(jìn)行粗測(cè)。塞尺使用前必須先清除塞尺和工件上的污垢與灰塵。使用時(shí)可用一片或數(shù)片重疊插入間隙，以稍感拖滯為宜。測(cè)量時(shí)動(dòng)作要輕，不允許硬插。也不允許測(cè)量溫度較高的零件。目前很多工廠仍使用該方法進(jìn)行檢測(cè)。由于其精度不高，常規(guī)薄塞尺為10um，檢測(cè)效率較低，結(jié)果不夠全面，只能檢測(cè)零件邊緣。

　　液平面法

　　液平面法是用液平面作為測(cè)量基準(zhǔn)面，液平面由“連通罐”內(nèi)的液面構(gòu)成，然后用傳感器進(jìn)行測(cè)量。基于連通器工作原理，適合測(cè)量連續(xù)或不連續(xù)的大平面的平面度，但測(cè)量時(shí)間長(zhǎng)，且對(duì)溫度敏感，僅適用于測(cè)量精度較低的平面。

　　激光平面干涉儀測(cè)量法

　　典型的用法是平晶干涉法，用光學(xué)平晶的工作面體現(xiàn)理想平面，直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測(cè)表面的平面度誤差值，但主要于測(cè)量光潔的小平面的測(cè)量，如千分頭測(cè)量面，量規(guī)的工作面，光學(xué)透鏡。激光干涉儀現(xiàn)因其體積小，重量輕、無需外接電源的特點(diǎn)被廣泛地應(yīng)用在光學(xué)加工企業(yè)，光學(xué)檢測(cè)機(jī)構(gòu)以及其他要進(jìn)行光學(xué)表面檢測(cè)的場(chǎng)合。南京光研武漢事業(yè)部的GY301A和GY301B型激光干涉儀，其干涉圖像與對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)同步，無需切換，任何人都能簡(jiǎn)單操作，同時(shí)也能加長(zhǎng)導(dǎo)軌配合測(cè)量尺寸簡(jiǎn)便的測(cè)量出曲率半徑。

　　水平儀測(cè)量法

　　水平儀是一種測(cè)量小角度的常用量具。在機(jī)械行業(yè)和儀表制造中,用于測(cè)量相對(duì)于水平位置的傾斜角、機(jī)床類設(shè)備導(dǎo)軌的平面度和直線度、設(shè)備安裝的水平位置和垂直位置等。按水平儀的外形不同可分為：框式水平儀和尺式水平儀兩種；按水準(zhǔn)器的固定方式又可分為：可調(diào)式水平儀和不可調(diào)式水平儀。

　　常用的水平儀

　　廣泛用于工件表面的直線度和平面度測(cè)量。測(cè)量精度高、穩(wěn)定性好、體積小、攜帶方便。但是用該方法測(cè)量時(shí)需要反復(fù)挪動(dòng)儀器位置，記錄各測(cè)點(diǎn)的數(shù)據(jù)，費(fèi)時(shí)、費(fèi)力，調(diào)整時(shí)間長(zhǎng)，數(shù)據(jù)處理程序繁瑣。

　　打表測(cè)量法

　　打表測(cè)量法是將被測(cè)零件和測(cè)微計(jì)放在標(biāo)準(zhǔn)平板上，以標(biāo)準(zhǔn)平板作為測(cè)量基準(zhǔn)面，用測(cè)微計(jì)沿實(shí)際表面逐點(diǎn)或沿幾條直線方向進(jìn)行測(cè)量。打表測(cè)量法按評(píng)定基準(zhǔn)面分為三點(diǎn)法和對(duì)角線法：三點(diǎn)法是用被測(cè)實(shí)際表面上相距遠(yuǎn)的三點(diǎn)所決定的理想平面作為評(píng)定基準(zhǔn)面，實(shí)測(cè)時(shí)先將被測(cè)實(shí)際表面上相距遠(yuǎn)的三點(diǎn)調(diào)整到與標(biāo)準(zhǔn)平板等高；對(duì)角線法實(shí)測(cè)時(shí)先將實(shí)際表面上的四個(gè)角點(diǎn)按對(duì)角線調(diào)整到兩兩等高。然后用測(cè)微計(jì)進(jìn)行測(cè)量，測(cè)微計(jì)在整個(gè)實(shí)際表面上測(cè)得的大變動(dòng)量即為該實(shí)際表面的平面度誤差。

　　典型應(yīng)用為平板測(cè)微儀及三坐標(biāo)儀，其中優(yōu)以三坐標(biāo)儀為應(yīng)用廣泛。測(cè)量時(shí)指示器在待測(cè)樣品上移動(dòng)，按選定的布點(diǎn)測(cè)取各測(cè)量點(diǎn)相對(duì)于測(cè)量基準(zhǔn)的數(shù)據(jù)，再經(jīng)過數(shù)據(jù)處理評(píng)定出平面度誤差。但其效率較低，通常一個(gè)樣品需要幾分鐘，離15ppm的期望相差甚遠(yuǎn)。